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集微网消息，据电子信息产业网报道，苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司传出消息，其公司负责的MEMS中试量产平台（以下简称“平台”）目前运行良好，已服务客户60余家、产品180余颗，2019年预计出货超过20000片6寸片，年出货量在全国代工线中名列前茅。
2013年，苏州纳米科技发展有限公司代表苏州工业园区管委会，策划筹建了苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司MEMS中试量产平台。 MEMS中试量产平台是国内首家专注于6英寸微纳机电制造（MEMS）的专业研发与代工平台，业务覆盖MEMS研发、模型、生产、IP授权、技术咨询以及部分的测试封装服务，填补了产品概念验证与规模代工厂之间的中试空白。 2014年，该平台正式运营并交付首个产品，2017年真正实现量产。申请了60多项发明专利，已成为国内工艺种类最全、部分工艺能力最强的MEMS代工线。 另外，平台已与日本爱发科签署战略合作协议，共同开发下一代MEMS关键技术——PZT压电薄膜MEMS传感器，明年年初将成为国内首个可量产PZT MEMS器件的产线。在此基础上，平台正计划建设8英寸线，更好地支撑国内MEMS产业发展。（校对/图图） *此内容为集微网原创，著作权归集微网所有。未经集微网书面授权，不得以任何方式加以使用，包括转载、摘编、复制或建立镜像。 |
